真空加热型匀胶机旋涂仪是加热型匀胶机基础上增加内腔抽真空功能，保证基片在加热和真空负压状态下进行匀胶作业。真空加热型匀胶机在真空负压状态可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作，对提高胶体流动性，加速溶剂挥发，匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。

真空加热型匀胶机旋涂仪是加热型匀胶机基础上增加内腔抽真空功能，保证基片在加热和真空负压状态下进行匀胶作业。真空加热型匀胶机在真空负压状态可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作，对提高胶体流动性，加速溶剂挥发，匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。

真空加热型匀胶机旋涂仪性能参数：  

加热转盘:Φ50mm  

控温范围:室温~150℃  

温度分辨率:0.1℃  

控温精度:±0.5℃（稳定后控温）  

转速分辨率:±1RPM  

转速范围:100-5000RPM  

加速度范围:100-5000RPM/S  

单步设置时长:0.1-3000S  

可编程: 100组100步  

自动点胶口:一路  

设备重量:15kg  

电源输入:AC220V，5A  

加热功率:150W  

电机功率: 200W  

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