三路质量流量计产品特点：1.选择多种气体方式；2.304不锈钢管芯，耐腐蚀；3.不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏。

产品分类CLASSIFICATION

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详细介绍

○ 适用范围
1.半导体制造业
2.真空镀膜设备
3.特殊材料表面处理
4.燃气控制
5.泄漏检测系统
6.环境检测分析设备
7.化学，石化，冶金，光纤等

○ 产品特点
1.选择多种气体方式
2.304不锈钢管芯，耐腐蚀
3.不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏

○ 技术参数

功能	三路质量流量计
质子流量控制器	工作温度：5~45 ºC *大压力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
输入电源	AC 220V/50Hz单相
功率	150W
机械压力表	有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针阀	316 不锈钢
通气管道	内部连接管道为1/4"不锈钢管外部通气管道为1/4"聚四氟管
混气罐	Φ80X120mm
截止阀及配件	316不锈钢针阀 Φ1/4" 不锈钢管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
质量认证	CE认证
质保期	一年质保期，终身维护

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