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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 5万-10万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 能源,电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气 |
| 真空腔体 | 直径≦100mm的平面样品均可 | 样品台尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
| 磁控靶 | 普通永磁靶，可调角度 | 靶材尺寸 | 直径2英寸，厚度≦3mm, |
| 溅射功率 | 溅射功率 |
本设备为单靶磁控镀膜仪，可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用高真空不锈钢腔体，腔体设置带挡板的石英观察窗，便于实验的观察记录；腔体设计真空性能优良，造型小巧，十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手。
磁控溅射镀膜仪技术参数：
| 产品名称 | 桌面型不锈钢腔体单靶直流磁控溅射镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-MSZ194-I-DC-SS | |
| 样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
| 加热温度 | ≦500℃ | |
| 可调转速 | ≦20rpm | |
| 磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ194mm X 263mm |
| 观察窗口 | φ50mm | |
| 腔体材料 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 上盖开启式 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
| 分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
| 真空测量 | 复合真空计，量程:10-5~105Pa | |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 抽气接口 | KF40 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
| 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 分子泵抽速60L/s，前级泵抽速1.1L/s | |
| 电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
| 输出功率 | 直流电源500W | |
|
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 整机功率 | 2kW | |
| 重量 | 80kg | |
| 整机尺寸 | 550mm X 450mm X750mm | |
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