该区域提纯炉主由：高温梯度炉、真空炉管、真空法兰、电子真空计、质量流量计、分子泵组、直线导轨、速度控制器等重要部件构成。区域提纯炉广泛用于半导体锗、硅提纯还可以用于金属、金属间化合物提纯。

感应式电磁屏蔽区域提纯炉是一种深度提纯金属、金属化合物或改变杂质在金属锭内分布的火法精炼方法，其实质是通过局部加热狭长金属料锭，通过形成一个狭窄的熔融区（简称熔区），并使之按一定方向沿料锭缓慢移动，利用杂质在固相与液相间平衡浓度的差异，使杂质偏析到固相或液相中，反复操作可以让杂质重新分布到料锭的一端或者两端。