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小型旋转涂覆仪匀胶机在操作中要注意哪些内容

更新时间:2026-08-28      点击次数:36
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。  
小型旋转涂覆仪匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,腔体上盖选用有机玻璃,外观美观坚固。仪器采用的精密电机,最高转速能达到10000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购。
开机前准备要点:
开机前抬起控制键和吸片键,再开启电源,避免未启动电机就直接转动,损坏驱动部件。
检查设备与真空泵、氮气瓶的接口是否漏气,确认气路连接完好无松动。
根据样片厚度选择适配片托:厚度低于1.5mm的样片选用带吸气槽的片托,厚度高于1.5mm的样片选用O型圈片托。
操作过程核心要点:
样片尺寸需大于吸附盘有效尺寸2-3mm,禁止用大片托甩小尺寸样片,否则会漏气,胶液易被吸入抽气室造成气路堵塞。
启动电机前确认气泵工况良好,样片已被完全吸牢,避免气路故障导致飞片,损坏样片和设备。
氮气/干燥气体压力控制不宜过大,从0.35MPa起缓慢上调,直到设备控制面板上的CDA停止闪烁即停止调整。
严禁放置超出设备限定范围的过大过重材料,否则会损坏设备的旋控精度。
基材必须准确放在吸盘中心,偏心放置会引发振动,轻则影响涂层质量,重则导致样片破碎、设备损坏。
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