该区域提纯炉主由：高温梯度炉、真空炉管、真空法兰、电子真空计、质量流量计、分子泵组、直线导轨、速度控制器等重要部件构成。区域提纯炉广泛用于半导体锗、硅提纯还可以用于金属、金属间化合物提纯。

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