OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱以金属/有机源蒸发为主体,适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等
桌面型有机源蒸发镀膜仪的物理过程主要包括材料的蒸发、气态粒子的输运以及在基底上的沉积成膜。在蒸发过程中,材料需要获得足够的热能以克服分子间的结合能,从而转变为气态分子并从蒸发源表面逸出 。这些气态粒子在输运过程中基本上无碰撞地直线飞行到基底表面,并在那里凝聚形核生长成固相薄膜。
高真空双源热蒸发镀膜仪可提供100A的镀膜电流,蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。
小型电动升降样品台蒸发镀膜仪为桌面型小型蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀