多源真空蒸发镀膜仪还适用于对氧敏感的金属薄膜（如Ti、Al、Au等）的蒸镀，也适用于各种氧化物材料的蒸镀

产品型号：CY-EVH500-III-HHH-SS
厂商性质：生产厂家
更新时间：2025-09-06
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产品分类CLASSIFICATION

品牌	其他品牌	价格区间	5万-10万
产地类别	国产	应用领域	化工,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属

多源真空蒸发镀膜仪详情介绍：

本设备为多源高真空蒸发镀膜仪，设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有完善的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、停机等操作。

本设备的蒸发源共两组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可支持300A的大电流，加热温度*高可达1800℃，可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的需求。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。

多源真空蒸发镀膜仪技术参数:

多源高真空蒸发镀膜仪
样品台	尺寸	φ150mm样品
样品台	高度	上下150mm可调
蒸发源	数量	钨舟x2
真空腔体	腔体尺寸	φ500x700mm
	观察窗口	前置φ100mm含遮光片
	腔体材料	304不锈钢
	开启方式	前开门式
膜厚控制	晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪
真空系统	前级泵	双极旋片泵
	抽气接口	KF16
	次级泵	涡轮分子泵
	抽气接口	ISO160
	真空测量	电阻+电离复合真空规
	排气速率	机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
	极限真空	1.0E-5Pa
	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	旋片泵：1.1L/S
流量计	可选一路质量流量计 500sccm Ar气
控制系统	PLC自动控制操作界面：触控屏+操作面板
其他	供电电压	AC220V,50Hz
	整机尺寸	1200mm X 900mm X 1500mm
	整机重量	500kg
	整机功率	5kW

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多源真空蒸发镀膜仪还适用于对氧敏感的金属薄膜（如Ti、Al、Au等）的蒸镀，也适用于各种氧化物材料的蒸镀

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