非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一款紧凑型2英寸单头射频等离子磁控溅射系统，涂有非金属，主要是氧化物薄膜。磁控溅射镀膜仪将所有元件集成到一层立式机柜中，包括射频电源、石英真空室、真空泵、再循环冷水机组和薄膜厚度监控器等。

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