磁控溅射直流电源是一种常用于薄膜制备的电源技术，具有以下特点：工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用

名称

磁控溅射直流电源

型号

CY-MSDC-501

输入电源

AC190V ～ AC240V

电源*大输出功率值

500W

输出电压

0V ～ 800V

输出电流

0A ～ 0.75A

输出功率

0W ～ 500W

工作模式

恒流、恒压、恒功率三种模式

电源工作真空度范围

0Pa～100Pa

数据显示方式

105mm*40mm 液晶屏显示

电源输出连续可调

预先设定值后一键启动，输出值开始缓慢增加达到预设值，实际输出不会过冲而且稳定。达到预定输出值后，仍然可以调整预设输出值

电源工作时间设置

本电源支持电源工作时间的设置，到达设定时间到后，电源自动停止工作

通信方式

支持RS485 通信

电源体积（不含面板）

440 mm × 350 mm × 88 mm

电源重量

7Kg

电源保修期限

保修壹年，终身维修

其它

本电源只有一个操作旋钮，操作简便。

自动灭弧，以及超限报警功能