详细介绍
品牌 | CYKY |
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一、应用范围:
本膜厚监控仪适用于真空电阻热蒸发、磁控溅射等镀膜厚度测量,到达设置厚度自动关闭挡板;通过液晶显示使您能连续获取完整的沉积数据,包括速率、厚度和晶体振荡频率。
二、技术参数:
CY-FTM-V监控仪 晶振频率 6MHz 显示方式 液晶屏显示 操作方式 面板按键 厚度显示范围 0-99μ9999Å 厚度显示分辨率 1Å 速率显示范围 0-9999.9Å 速率显示分辨率 0.1Å/s 镀膜层数 16 探头输入 4路(任选一路工作) 工具因子 0.01-99.99 材料存储 52种 镀膜巡回次数 0-99 通 讯 RS232 源/挡板 2组继电器触点 机箱尺寸 480×250×89mm(2U 19"机箱)
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