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多通道膜厚监控仪
简要描述:

适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控;膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现,使您能获取完整的沉积数据,包括速率、厚度和镀膜时间等。

  • 产品型号:CY-FTM-M4/M6
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:76

详细介绍

品牌CYKY

一、技术特点:

      1.多达六路探头可同时监控,每路自由设置,既能独立运行,也可联合工作。

      2.每路二组继电器输出,到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源;

      3.全触摸屏操作显示,简单易用;

      4.提供RS232/RS485接口,MODBUS RTU标准协议,多波特率可选,并配有专用控制软件。

二、应用范围:

       适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控;

膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现,使您能获取完整的沉积数据,包括速率、厚度和镀膜时间等。

 

三、主要参数:

 

CY-FTM-M4/M6多通道监控仪

晶振频率

 6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体)

显示方式

5"彩色触屏+1路数码管显示速率和实厚

操作方式

 触摸屏

厚度显示范围

0-99μ9999Å

厚度实际分辨率

0.1Å(铝)

厚度显示分辨率

1Å

速率范围

0-999.9Å

速率显示分辨率

0.1Å/s

镀膜层数

99

探头输入

4/6路(可同时工作)

工具因子

0.01-99.99

材料存储

257+自定义10

通 讯

RS232/RS485  MODBUS RTU协议

挡板/源控制

每路2组触点,到达厚度关挡板/蒸发源

镀膜显示

数值/速率曲线

镀膜巡回次数

0-99

机箱尺寸

480×250×89mm(2U 19"机箱)

四、特殊功能:

1)任意设置每一路的工作状态,具有人工停止镀膜功能;  

2)可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比;

3)显示镀膜结束后的监测厚度、晶振频率、材料和层次。

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