实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时，将蒸发物或反应物沉积在基片上，多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质保护膜如TiN等

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