详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本产品为专为高真空设计的桌面型不锈钢腔体热蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作,出厂经过除气处理,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。真空腔体采用前开门开启方式,便于取放样,腔体上配置有带挡板的适应观察窗,用于观察镀膜过程,挡板则可以有效防止观察窗被膜料污染.
高纯度薄膜:由于在高真空条件下进行,减少了气体分子与蒸发材料的碰撞,从而能够制备出高纯度的薄膜。
精确控制:蒸发镀膜技术允许对薄膜的厚度、成分和结构进行精确控制,这在许多高精度应用中至关重要。
适用多种材料:蒸发镀膜技术可以用于多种材料,包括金属、合金、氧化物、碳化物、氮化物以及有机材料等。
高沉积速率:特别是使用电子束蒸发时,由于高能量的电子束能够快速加热材料,可以实现高沉积速率。
均匀性:通过适当的工艺参数调整,可以在大面积基底上获得均匀的薄膜。
低损伤:由于加热主要集中在蒸发材料上,对基底的热影响较小,适用于热敏材料的薄膜沉积。
参数名称 | 参数说明 | ||
产品名称 | 前开门台式蒸发镀膜仪 | ||
产品型号 | CY-EVZ254-I-H-SS | CY-EVZ254-II-HH-SS | |
真空腔体 | 腔体材质 | 304不锈钢焊接而成,表面做抛光处理 | |
取放模式 | 前开门方式取放样品和蒸镀材料 | ||
观察窗 | 直径80mm真空窗口,配有磁力挡板,防止污染 | ||
样品台 | 样品尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 | |
旋转速度 | 分不旋转和旋转型(0-20RPM) | ||
加热温度 | ≦1800℃ | ||
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮或坞舟 1个 | |
样品台蒸发源距离 | 60-100mm 可调 | ||
镀膜方式 | 热蒸发镀膜 | ||
真空系统 | 抽气接口:KF25/40, 排气接口: KF16 | ||
复合真空计,电阻规+电离规 | |||
前级泵 | 旋片泵 抽速: 1.1L/S | ||
分子泵 | 抽速: 62L/S (大阪分子泵) | ||
膜厚测量 | 通常配CYKY膜厚测量仪 (可选) | ||
也可选配进口品牌,价格额外计算 | |||
供电电压 | AC220V,50Hz | ||
整机功率 | 2KW | ||
外形尺寸 | 750mm X 450mm X750mm | ||
包装重量 | 70 KG |
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