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高真空双源热蒸发镀膜仪
简要描述:

高真空双源热蒸发镀膜仪适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜,该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好

  • 产品型号:CY-EVV195-II-HH-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:51

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本仪器是一种具有两个蒸发源的双源热蒸发镀膜仪,钨丝篮(或钨舟)用作蒸发源,并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好。 该腔室配有观察窗,因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的最高真空10E-5Pa,可有效提高涂层质量,并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境。  

高真空热蒸发镀膜仪用途:  

高真空双源热蒸发镀膜仪适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。  

高真空双源热蒸发镀膜仪
 

高真空热蒸发镀膜仪技术参数:  

 

产品名称  

高真空双源热蒸发镀膜仪  

产品型号  

CY-EVV195-II-HH-SS  

样品台  

位  置  

顶部设置  

外形尺寸  

直径φ65mm  

转  速  

0-20 rpm  

间  距  

样品架和蒸发源之间的距离可调  

可调温度  

500  

热蒸发源  

钨丝篮×2个,钨舟×2  

蒸发电源  

每个蒸发源配一组独立电源;双个蒸发源可同时共蒸  

真空腔体  

腔体尺寸  

直径φ195mm×H210mm  

观察窗口  

直径φ100mm  

腔体材质  

304不锈钢  

开启方式  

上开盖

膜厚测量  

晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪)  

真空系统  

前级泵  

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S  

次级泵  

涡轮分子泵,气体抽速600L/S  

真空测量  

复合真空计(电离规+电阻规)  

系统真空  

5×10-4Pa  

控制系统  

CYKY自研专业级控制器  

其他参数  

供电电源  

AC380V,50Hz  

整机尺寸  

600mm×650mm×1500mm  

整机功率  

7KW  

整机重量  

260kg  


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