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桌面型偏压单靶磁控溅射镀膜仪
简要描述:

本设备为桌面型偏压单靶磁控溅射镀膜仪,可用于一般金属薄膜的制备。设备同时配有偏压电源,可以用来进行进行溅射前的等离子清洗和溅射过程中施加偏压

  • 产品型号:CY-MSZ180PX-I-DC-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:64

详细介绍

品牌CYKY价格区间1-5万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本设备为桌面型偏压单靶磁控溅射镀膜仪,可用于一般金属薄膜的制备。设备同时配有偏压电源,可以用来进行进行溅射前的等离子清洗和溅射过程中施加偏压。  

本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。  

磁控镀膜仪典型应用:

•    科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。

•    电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。

•    教学演示:材料科学、真空技术实验教学。

•    以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:

桌面型偏压单靶磁控溅射镀膜仪  

单靶磁控溅射镀膜仪技术参数:  

 

产品名称  

桌面型偏压单靶磁控溅射镀膜仪  

产品型号  

CY-MSZ180PX-I-DC-Q  

样品台  

外形尺寸  

φ100mm  

加热温度  

≦500℃  

可调转速  

≦20rpm  

磁控靶枪  

配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm  

真空腔体  

腔体尺寸  

φ180mm X 215mm  

观察窗口  

全向透明  

腔体材料  

高纯石英  

开启方式  

上盖拆卸式  

真空系统  

前级泵  

低噪音双极旋片泵  

分子泵  

低噪音大抽速涡轮分子泵  

真空测量  

复合真空计,量程:10-5~105Pa  

抽气接口  

KF16  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF16  

系统真空  

1.0×10-4Pa  

供电电源  

AC 220V 50/60Hz  

抽气速率  

分子泵抽速600L/s,前级抽速1.1L/s    

电源配置  

电源数量  

射频电源一套  

输出功率500

500W

 

其他参数  

供电电压  

AC220V,50Hz  

整机功率  

2kW  

整机尺寸  

550mm X 350mm X400mm  

 




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