400-800-1730
产品中心
产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
| 品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
通用真空磁控镀膜仪腔体设计用于在低压至高真空 - 5·10-7 mm 下进行物理实验。该真空腔体非常适合物理沉积 (PVD)、化学沉积 (CVD)、等离子体化学沉积 (PECVD)、热喷涂、电子束溅射等多种镀膜。 此外，在安装适当的设备时，真空柱还可用于进行固体物理领域的研究。
抽气和真空室升降过程有手动和自动两种控制方式。 真空柱的压力和状态显示在液晶显示屏上。
真空室被制成帽的形式。 腔室材料为不锈钢，箱体上焊接有矩形冷却通道。 腔室法兰有许多支管，用于连接各种输入：旋转、电气、低温。 真空柱配备有自动室提升机构。
技术参数：
| 真空系统 | |
| 真空室内径 | 不小于250mm |
| 真空室高度 | 不小于400mm |
| 摄像头类型 | 圆筒钟型 |
| 腔体材质 | 不锈钢，12X18H10T |
| 腔体内表面加工 | 研磨、抛光 |
| 前级泵抽速 | 不小于5m3/h |
| 前级泵类型 | 干式螺旋泵 |
| 高真空泵类型 | 涡轮分子泵组 |
| 高真空泵抽速 | 不小于300l/s |
| 冷却系统 | 线圈，入口/出口配件：1/4' |
| 工作真空度 | 1x10-6毫米汞柱 |
| 极限真空 | 5х10-7毫米汞柱 |
| 达到工作真空的时间 | 不超过60分钟 |
| 真空计类型 | 组合式宽范围型 |
| 压力测量范围 | 760 mm Hg |
| 旁路泵送管线 | 有 |
| 高真空阀 | 气动，常闭 |
| 连接法兰 | KF16 – 2个. KF25 – 6个. |
| 控制类型 | 手动/自动 |
| 真空系统控制方法 | 电动气动 |
| 真空系统压力和状态指示 | 控制面板上的液晶显示屏 |
| 外形尺寸 | 宽x深x高（1000x1200x1800(2400)mm |
| 重量 | 不超250KG |
| 电源电压 | 220V |
| 电源相数 | 1 |
| 进气压力 | 4-8 Bar |
| 功耗 | 0.5KW |
产品咨询
扫码加微信