产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 10万-30万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备为带过渡舱型双靶磁控溅射镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
设备配有两支磁控靶,两套直流电源,可用于镀多层导电金属膜。同时设备具有主腔室和过渡舱两部分,过渡舱配有磁力推杆,两个舱室之间装有真空闸板阀;用户可以在主腔室进行溅射工作的同时,在过渡舱装填样品,并进行真空预抽,待主腔室溅射完成后即可将样品通过磁力推杆推入主腔室的样品台。这样的设计能够减少主腔室抽放真空的次数,不仅能有效节省时间,更能保证更好的本地真空,有效提高镀膜质量。
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH325G-II-DCDC-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 6.5KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 外形尺寸 | φ150mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷却模式 | 循环水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm,高度500mm |
腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
过渡腔体 | 150x150x150mm | |
开启方式 | 顶开式 | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
真空系统 | 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å | |
溅射电源 | 配直流电源500W*2 | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
设备尺寸 | 1200mm×1200mm×2000mm | |
设备重量 | 450kg |
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