热阴极直流等离子体化学气相沉积系统（DCCVD）是在常规冷阴极辉光放电基础上发展起来的，主要用于金刚石单晶或多晶膜的沉积生长

开腔方式  

升降开腔或前开门，方便放样及清理  

观察窗  

设置多个观察窗保证能够观察到阴阳极及沉积台  

真空系统  

真空泵  

通过机械泵抽真空，无需配置分子泵  

极限真空  

0.1~1Pa  

抽气时间  

5~15min  

抽气孔设置  

保证抽气均匀性  

气压调节范围  

0.1Pa~30KPa  

放气阀  

可以恢复至大气开腔  

真空规  

高精度真空规准确测量腔体气压值  

配气系统  

气源配置  

氢气、甲烷 、氮气、氩气、氧气5路气源，额外预留一路备用  

气体流量控制  

体流量通过MFC进行控制，根据腔体大小选取合适量程的流量计，不同流量大小会影响升压时间，一般情况下流量比氢气:甲烷:氮气:氩气:氧气为40:1:1:40:1  

进气孔设置  

合理的进气孔设置，保证进气均匀性  

水冷系统  

水冷机功率  

水冷机制冷功率、扬程应与设备发热量及冷却水流量匹配，且温度可调，一般设置在20℃左右  

阀门  

沉积腔体、阴极、阳极都需要进行冷却，需要设置分水器，并在分水器上各分路进出水口设置手动阀门  

工作温度  

阳极工作温度为600-1100℃，阴极工作温度为700-1100℃  

电源  

工作电压  

600~1200V，输出电压可调  

工作电流  

6~15A  

控制系统  

1)    气体流量控制；  

2)    电极升降控制，阴阳极间距实时显示，控制精度1mm；  

3)    阴阳极及衬底温度监测与显示；  

4)    部分功能可以手动调节，如气压；  

5)    故障报警，防止误操作；  

电极  

1)   阳极直径60mm，材质为铜  

2)   阴极直径80~100mm，材质为钼，长时间使用后，阴极表面易沉积碳从而导致放电不稳定，因此需要设计成可更换结构；  

3)   阴阳极间距可调，范围10~60mm，距离实时显示，调节精度1mm;  

4)   阴阳极边缘可以倒小圆角，防止边缘放电；  

5)   阳极可以加负偏压，偏压范围0~400V；  

6)   电极边缘做绝缘处理，防止边缘放电；