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产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
| 品牌 | CYKY | 溅射气体 | 氩气 |
|---|---|---|---|
| 样品台尺寸 | 150mm | 控制方式 | PIC |
| 样品仓尺寸 | 300mm | 靶材尺寸 | 2mm |
| 靶材材质 | 金属 | 价格区间 | 5万-10万 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
CY-PLZ180-I-DC-Q 半导体镀膜磁控溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。(本设备配有旋转加热样品台,可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力)该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。设备体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。
| 产品名称 | 单靶等离子溅射镀膜仪(增强型) | |
| 产品型号 | CY-PLZ180-I-DC-Q | |
| 样 品 台 | 尺寸 | 100mm |
| 旋转速度 | 1~20rpm可调 | |
| 加热温度 | ≤500℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ PID控温 | |
| 等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸x1 |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 300mm |
| 观察窗口 | 全向可视 | |
| 腔体材料 | 高纯石英 | |
| 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
| 上下盖材质 | 304不锈钢 | |
| 抽气接口 | KF25 | |
| 进气接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
| 电源配置 | 数量 | 直流电源x1 |
| 输出功率 | *大150W | |
| 溅射电源 | 3000V | |
| *大溅射电流 | 50mA | |
| 真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
| 抽气接口 | KF25 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 抽气速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
| 极限真空度 | ≥1Pa | |
| 真空测量 | 电阻真空规 | |
| 其他 | 供电电源 | AC 220V 50Hz |
| 整机功率 | 2kW | |
| 整机尺寸 | 570mm X 450mm X550mm | |
| 整机重量 | 30kg | |
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