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双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪
简要描述:

双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪紧凑型磁控溅射系统,具有双靶2“目标源,例如,一个直流源用于涂覆金属薄膜,另一个射频源用于涂覆非金属材料。高真空磁控等离子溅射镀膜仪设计用于涂覆单层或多层薄膜,适用于各种材料,如合金、铁电、半导体、陶瓷、电介质、光学、聚四氟乙烯等。

  • 产品型号:CY-MSH325- II-DCRF-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:59

详细介绍

品牌CYKY价格区间30万-50万
产地类别国产应用领域生物产业,电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,制药/生物制药

双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪紧凑型磁控溅射系统,具有双靶2"目标源,例如,一个直流源用于涂覆金属薄膜,另一个射频源用于涂覆非金属材料。高真空磁控等离子溅射镀膜仪设计用于涂覆单层或多层薄膜,适用于各种材料,如合金、铁电、半导体、陶瓷、电介质、光学、聚四氟乙烯等。

双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪主要特点:  

1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。  

磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:

1. 科研领域——纳米光学薄膜制备

2. 电子行业——透明导电薄膜(ITO)镀膜

3. 材料改性——刀具硬质涂层(TiN

4. 教学演示——磁控溅射原理实验

高真空磁控等离子溅射镀膜仪技术规格:  

项目

明细

产品型号

CY-MSH325- II-DCRF-SS

供电电压

AC220V50Hz

整机功率

4KW

系统真空

5×10-4Pa

样品台

外形尺寸

φ140mm

加热温度

500℃

控温精度

±1

可调转速

20rpm

磁控靶枪

靶材尺寸

直径Φ50.8mm,厚度3mm

冷却模式

循环水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔体

腔体尺寸

直径φ325mm,高度500mm

腔体材质

SUU304不锈钢

观察窗口

直径φ100mm

开启方式

顶开式

气体控制

1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM

真空系统

配分子泵系统1套,气体抽速600L/S

膜厚测量

可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å

溅射电源

直流电源500W,射频电源500W

控制系统

CYKY自研专业级控制系统

设备尺寸

600mm   × 650mm × 1280mm

设备重量

350kg

































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