产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 30万-50万 |
---|---|---|---|
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,制药/生物制药 |
双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪紧凑型磁控溅射系统,具有双靶2"目标源,例如,一个直流源用于涂覆金属薄膜,另一个射频源用于涂覆非金属材料。高真空磁控等离子溅射镀膜仪设计用于涂覆单层或多层薄膜,适用于各种材料,如合金、铁电、半导体、陶瓷、电介质、光学、聚四氟乙烯等。
双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪主要特点:
1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。
磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:
1. 科研领域——纳米光学薄膜制备
2. 电子行业——透明导电薄膜(ITO)镀膜
3. 材料改性——刀具硬质涂层(TiN)
4. 教学演示——磁控溅射原理实验
高真空磁控等离子溅射镀膜仪技术规格:
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH325- II-DCRF-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 4KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 外形尺寸 | φ140mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷却模式 | 循环水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm,高度500mm |
腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
开启方式 | 顶开式 | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
真空系统 | 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å | |
溅射电源 | 直流电源500W,射频电源500W | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
设备尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
设备重量 | 350kg |
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,会造成所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,本公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
产品咨询