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四探针磁控溅射薄膜厚度测试仪
简要描述:

四探针磁控溅射薄膜厚度测试仪用于半导体、薄膜、导电涂层等材料的电学性能测试。四探针薄膜厚度测试仪核心作用是消除接触电阻和引线电阻的影响,从而获得更准确的测量结果

  • 产品型号:CY- SZT
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:78

详细介绍

品牌CYKY价格区间1-5万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,制药/生物制药

四探针磁控溅射薄膜厚度测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置,配上专用的四探针测试架,就可以测量片状,块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动,手动,手持三种可以选配,另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的 中,低阻阻值.  

四探针测试仪(Four-Point Probe)是一种用于测量材料电阻率(resistivity)和薄层电阻(sheet resistance)的高精度仪器,尤其适用于半导体、薄膜、导电涂层等材料的电学性能测试。其核心作用是消除接触电阻和引线电阻的影响,从而获得更准确的测量结果。  

典型应用场景:  

半导体行业:硅片、GaAs等晶圆的电阻率测试。掺杂工艺后的电学性能验证。  

薄膜材料:ITO(透明导电膜)、太阳能电池薄膜、金属镀层的薄层电阻测量。  

科研领域:纳米材料(石墨烯、碳纳米管)、有机半导体材料的导电性分析。  

工业生产:液晶显示(LCD)、柔性电路(FPC)的导电涂层质量控制。  

四探针磁控溅射薄膜厚度测试仪技术参数:

产品名称  

四探针测试仪  

产品型号  

CY- SZT  

测量范围  

电阻率  

10⁻⁴-105-cm  

方块电阻  

10⁻⁴- 105/  

电阻  

10-- 105  

可测半导体材尺寸  

         

Ф15-100mm  

长(或高)度  

400mm  

测量方位  

轴向,径向均可  

数字电压表  

量程  

20mV,200mV,2V  

误差  

±0.5%读数±2  

输入阻抗  

>10  

分辨率  

10μV  

点阵液晶显示  

过载显示  

恒流源  

电流输出  

共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择,各挡均为定值不可调节,电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后,直接显示修正后的结果  

     

±0.5%±2  

四探针测试头  

探 针 间 距  

1mm  

探针机械游移率  

±1.0%  

       

碳化钨(或高速钢),Ф0.5mm  

   

交流  

220V±10%  

功耗  

<35W


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