2000℃温度可控型30KW感应加热熔炼炉CY-IV208-30KW-Q是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统，配备30KW感应加热器、8.5″（216mm）石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架，最高温度可以达到2000℃（使用时石英管内需通入保护性气体），是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的较佳选择。

产品型号  

CY-IV208-30KW-Q  

主要特点  

   1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。  

   2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。  

   3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。  

   4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5  

           torr。  

   5、迷你型浮子流量计精度为4%。  

   6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。  

感应加热器  

工作电压  

三相AC 380 V  50Hz（需60 A空气开关）  

工作电流  

7Amps-70Amps（需100A空气开关）  

功率  

*大振荡功率30KW，*大输入功率15KW  

输出频率  

30KHz-110 KHz  

占空比  

80%  

感应线圈  

内径Φ220 mm，高65 mm  

空气冷却  

后风扇  

温度控制器及热电偶  

工作电压  

AC208V-240V  单相  

控温精度  

±3℃  

热电偶  

C型，外径Φ1/4″，长10″  

连续工作温度范围  

1000℃-2000℃  

*大升温速率  

4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）  

石墨坩埚（易耗件）  

高纯石墨坩埚  

外径Φ114mm，内径Φ100mm，高142mm    

*大容量  

样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，*大质量为4kg（以铁标定）  

保温层  

石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温1700℃）- 高温毡，总厚度为32mm  

石英管和密封法兰  

石英管  

两端开口，外径Φ216mm，内径Φ208mm，长500mm  

顶部法兰  

采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4″的铠装接口（可插入热电）偶至石英管内部，更准确地测量样品温度  

底部法兰  

设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接  

水冷机  

温度  

5℃-30℃  

水流速  

>16L/min  

水箱容积  

12L，采用不锈钢制作  

水压  

≥0.1MPa  

流量  

≥5L/min  

  （建议使用特定的冷却剂液以达到*佳的冷却效果）  

真空泵  

工作电压：AC208V-240V单相  

移动炉架  

尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管  

注意事项  

 操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，  

 流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超  

 过**值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造**身伤害。  

其他事项  

 本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。