详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本产品为桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境;同时设备采用高罐体及水冷样品台设计,能够减少蒸发源对样品的热辐射,保证样品的表面不超温,维持在室温水平,有效防止样品被热蒸发的高温损坏,尤其适合对各种聚合物薄膜样品进行镀膜。
产品名称 | 桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVZ195-I-H-SS-SJ | |
样品台 | 外形尺寸 | 直径φ70mm |
可调温度 | ≦500℃ | |
热蒸发源 | 金属蒸发源钨舟1个 | |
蒸发电源 | 每个蒸发源配一组独立电源;三个蒸发源可同时共蒸 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ195mm,高度350mm |
观察窗口 | 直径φ60mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪) | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,气体抽速1.1L/S |
次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
系统真空 | 5×10-4Pa | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | AC380V,50Hz |
整机尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整机功率 | 1200W | |
整机重量 | 950kg |
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