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桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪
简要描述:

本产品为桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀

  • 产品型号:CY-EVZ195-I-H-SS-SJ
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:108

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本产品为桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪,设备安装有钨丝篮蒸发源,可提供*大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境;同时设备采用高罐体及水冷样品台设计,能够减少蒸发源对样品的热辐射,保证样品的表面不超温,维持在室温水平,有效防止样品被热蒸发的高温损坏,尤其适合对各种聚合物薄膜样品进行镀膜。  

桌面型小型蒸发镀膜仪技术参数:  


产品名称

桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVZ195-I-H-SS-SJ

样品台

外形尺寸

直径φ70mm

可调温度

500℃

蒸发源

金属蒸发源钨舟1

蒸发电源

每个蒸发源配一组独立电源;三个蒸发源可同时共蒸

真空腔体

腔体尺寸

直径φ195mm,高度350mm

观察窗口

直径φ60mm

腔体材

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚测量

膜厚测量仪(可选膜厚控制仪)

真空系统

前级泵

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-4Pa

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电

AC380V,50Hz

整机尺寸

600mm×600mm×750mm

整机功率

1200W

整机重量

950kg



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