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倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪
简要描述:

本设备为倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪,样品台与靶面的角度可调,可用于制作特定生长角度的薄膜。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

  • 产品型号:CY-MSZ180-60Q-I-DC-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:402

详细介绍

品牌CYKY

本设备为倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪,样品台与靶面的角度可调,可用于制作特定生长角度的薄膜。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。  

倾斜样品台式单靶磁控技术参数:

产品名称  

倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪  

产品型号  

CY-MSZ180-60Q-I-DC-Q  

样品台  

外形尺寸  

φ60mm  

加热温度  

500  

可调转速  

20rpm  

磁控靶枪  

配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm  

真空腔体  

腔体尺寸  

φ180mm X215mm  

观察窗口  

全向透明  

腔体材料  

高纯石英  

开启方式  

上盖拆卸式  

真空系统  

前级泵  

低噪音双极旋片泵  

分子泵  

低噪音大抽速涡轮分子泵  

真空测量  

复合真空计,量程:10-5~105Pa  

抽气接口  

KF16  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF16  

系统真空  

1.0×10-4Pa  

供电电源  

AC   220V 50/60Hz  

抽气速率  

分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s    

电源配置  

电源数量  

直流电源一套  

输出功率  

500W  

 

其他参数  

供电电压  

AC220V,50Hz  

整机功率  

2kW  

整机尺寸  

550mm   X 350mm X400mm  

 




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