详细介绍
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防腐蚀匀胶机主要特点:
1.表壳和旋转盘由聚丙烯(PP)制成,可抵抗大部分腐蚀性溶液。
2.数字控制箱与旋涂机分开。
3.标配一个过滤器。它用于连接泵和涂布机,以防止废水流入泵。
4.标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。
5.带真空和盖子开关互锁功能,确保操作稳定。
6.内腔直径150mm,PP防腐真空吸盘Φ100mm,可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物。
7.数字控制面板,带有6个可编程段,可实现不同的旋转时间和速度。
8.电机启动快速稳定,可以保证图层厚度的一致性和均匀性。
项目 | 明细 | |
旋涂仪 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
转速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
转速分辨率 | 1rpm | |
单步时间 | 3000s | |
基片尺寸 | 直径≤8英寸(200mm) | |
腔体材质 | 聚四氟 | |
操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
滴胶方式 | 手动滴胶,可选购精密注射泵 | |
匀胶曲线 | 每条曲线5段,共可储存5条曲线 | |
抽气接口 | φ8mm 快拧接口 | |
整机尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
整机重量 | 12kg | |
排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
抽气速率 | 50L/min | |
供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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