三靶等离子溅射镀膜仪（增强型）采用级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台，能够有效的提升镀膜的均匀性。（本设备配有旋转加热样品台，可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力）该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。

产品名称

三靶等离子溅射镀膜仪（增强型）

产品型号

CY-PLZ180-III-DC-Q

样 品 台

尺寸

100mm

旋转速度

1~20rpm可调

加热温度

≤500℃            

控温精度

±1℃   PID控温 

等离子溅射靶

数量

2英寸x3

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 200mm    

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

KF25

进气接口

1/4英寸卡套接头

电源配置

数量

直流电源x1

输出功率

*大150W

溅射电源

3000V

*大溅射电流

50mA

真空系统

真空泵类型

双极旋片真空泵

抽气接口

KF25

排气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s（4m³/h）

极限真空度

≥0.1Pa

真空测量

电阻真空规

其　　他

供电电源

AC 220V  50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

550mm X 450mm X550mm

整机重量

30kg