换位自转等离子镀膜仪采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验，本设备配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择。

产品名称

换位自转等离子镀膜仪

产品型号

CY-PLZ180-I-DC-Q

样品台

尺寸

60mm

到靶面距离

可在两个靶位间自动切换

等离子溅射靶

数量

2英寸x1

冷却方式

自然冷却    

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 150mm    

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

KF25

进气接口

1/4英寸卡套接头

电源配置

数量

直流电源x1

输出功率

*大150W

溅射电源

3000V

*大溅射电流

50mA

真空系统

真空泵类型

双极旋片真空泵

抽气接口

KF25

排气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s（4m³/h）

极限真空度

≥1Pa

真空测量

电阻真空规

其他

供电电源

AC 220V  50Hz

整机功率

1.5KW/2KW（旋转加热）

整机尺寸

570mm X 450mm X450mm

整机重量

30kg