高真空滑轨炉核心为一套滑道炉，实现加热及退火的功能，进气端配有高精度三路质量流量计，用以精确控制管内气氛；同时设备配有涡轮分子泵组，能够快速达到高真空环境，zui大程度的排除空气气氛对实验的干扰。滑道炉由1200℃标准单温区管式炉和高精度滑轨组成

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