本设备为客户定制等离子测试设备。设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器，发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体，石英管两侧的法兰配有观察窗，用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制，屏幕集成所有实验功能，如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。同时电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性。该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的仪器。

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