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5英寸近源有机物蒸发镀膜炉
简要描述:

5英寸近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

  • 产品型号:CY-EBH500-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:118

详细介绍

品牌其他品牌价格区间1-5万
产地类别国产应用领域文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属

简单介绍:

5英寸近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

详情介绍:

近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部),zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池.

技术参数:

产品名称

5英寸近源有机物蒸发镀膜炉

产品型号

CY-EVH350JJL-5"-SS

样品台

外形尺寸

5"x5"

转速

1-20RPM

可调温度

≦950℃

热蒸发源

20个红外灯管作为加热元件

真空腔体

腔体尺寸

350 mm Dia x 300 mm h

观察窗口

100 mm

腔体材质

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚测量

晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪)

真空系统

配有一套分子泵系统

系统真空

1×10-5Pa

流量计

两路浮子流量计 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m

工作温度

每个加热器的*高温度:RT-950℃。

两个加热器之间的*大温差:<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距:间距 30mm *大。 温差:315ºC @ 仅加热底部

温控系统

两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护

水    冷

循环水冷机(KJ-5300型,16L/min)

控制系统

CYKY自研专业级控制器


其他参数

供电电源

208V 60HZ  三相

整机尺寸

600mm×650mm×1500mm


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