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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 1-5万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
高真空电子束蒸发镀膜仪技术参数：
| 产品名称 | 高真空电子束蒸发镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-EBH500-SS | |
| 样品台 | 外形尺寸 | <150mm，样品台可旋转 |
| 可调温度 | ≦500℃ | |
| 电子枪 | 新型电子枪，6孔坩埚 | |
| 加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ500*H500mm |
| 观察窗口 | 直径φ100mm | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 膜厚测量 | 采用SQM160膜厚仪进行监控，涂层厚度不均匀度小于6%。 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
| 次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
| 真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
| 系统真空 | 5×10-5Pa | |
| 水冷系统 | 水压<2.5bar 水压监测 | |
| 加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
| 电极接口 | 带2路金属蒸发电极接口 | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
| 其他参数 | 供电电源 | AC380V,50Hz |
| 整机尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
| 整机功率 | 20KW | |
| 整机重量 | 350kg | |
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