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高真空双源热蒸发镀膜仪
简要描述:

高真空双源热蒸发镀膜仪适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好。

  • 产品型号:CY-EVZ254-I-H-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:178

详细介绍

品牌其他品牌价格区间1-5万
产地类别国产应用领域文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属

简单介绍:

高真空双源热蒸发镀膜仪适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。

详情介绍:

本仪器是一种具有两个蒸发源的高真空蒸发镀膜仪,钨丝篮(或钨舟)用作蒸发源,并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好。 该腔室配有观察窗,因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的**真空10E-5Pa,可有效提高涂层质量,并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境。

高真空双源热蒸发镀膜仪

技术参数:

产品名称

高真空双源热蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVV195-II-HH-SS

样品台

位  置

顶部设置

外形尺寸

直径φ65mm

转  速

0-20 rpm

间  距

样品架和蒸发源之间的距离可调

可调温度

≦500℃

热蒸发源

钨丝篮×2个,钨舟×2个

蒸发电源

每个蒸发源配一组独立电源;双个蒸发源可同时共蒸

真空腔体

腔体尺寸

直径φ195mm×H210mm

观察窗口

直径φ100mm

腔体材质

304不锈钢

开启方式

上开盖

膜厚测量

晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪)

真空系统

前级泵

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空计(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-4Pa

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电源

AC380V,50Hz

整机尺寸

600mm×650mm×1500mm

整机功率

7KW

整机重量

260kg

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