磁控溅射直流电源是一种常用于薄膜制备的电源技术，具有以下特点： 工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用

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