该设备用于制备多组份、多层复合的致密的金属/非金属、金属氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金属氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均匀的薄膜材料,其中靶材可为金属/非金属的单组份或多组份材料(包含磁性靶材材料),也可为金属/非金属化合物的单组份或多组份材料。样品能够在该设备系统真空室内的薄膜沉积处原位退火处理。此外,采用磁控溅射镀膜后的样品可以进行硒化、硫化处理。可应用于材料学、物理学、化学、微电子、光电子、能源、催化、纳米技术等领域。
手套箱是一种提供无水无氧环境的设备,该设备主要由显示系统、过渡舱、真空系统、控制系统、箱体、循环净化再生系统等部分组成,同时还可分别与气体净化系统、溶剂过滤系统、水氧显示系统集成工作。箱体采用上等钢板或镜面不锈钢氩弧焊制而成,双层钢化玻璃。美观新颖、性能稳定。
手套箱是一种提供无水无氧环境的设备,该设备主要由显示系统、过渡舱、真空系统、控制系统、箱体、循环净化再生系统等部分组成,同时还可分别与气体净化系统、溶剂过滤系统、水氧显示系统集成工作。箱体采用上等钢板或镜面不锈钢氩弧焊制而成,双层钢化玻璃。美观新颖、性能稳定。