实验室小型等离子清洗机带有数字真空传感器和显示器，以及铰链门。适用于各种气体对2英寸以下晶圆片的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下，有机去除率zui高约为10nm /min。紧凑型等离子清洗机是一种较好的单晶基材涂装前预清洁的工具，可达到较好的涂膜质量。

等离子清洗机去除有机污染物是一种等离子体清洗剂或蚀刻装置，直径8.5英寸x 14英寸长石英腔和0 - 80W可变射频功率。8.5“实验室等离子清洗机采用空气、氧气或氩气等离子体对基体或晶圆片表面的纳米级有机污染物进行清洗和去除。

紧凑型紫外线臭氧清洗机用于清洁所有类型的晶体基板，以低成本实现更好的薄膜质量。此外，紫外线臭氧清洗机是去除和剥离光刻胶、改善表面润湿性、清洁SEM和TEM样品、UV聚合物活化、组装等的理想工具。

实验室紫外线臭氧清洗机可用于去除石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等大多数无机基材上的有机污染物，提供了一种高效、精密的清洗方式，也是表面改性的一种非常重要的技术。

大气低温等离子清洗机作用到固体样品表面,不但去除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。大气等离子清洗机可以提高固体表面的润湿性能。

大气旋转等离子清洗机又叫等离子表面处理仪（器），是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。