紧凑型紫外线臭氧清洗机用于清洁所有类型的晶体基板，以低成本实现更好的薄膜质量。此外，紫外线臭氧清洗机是去除和剥离光刻胶、改善表面润湿性、清洁SEM和TEM样品、UV聚合物活化、组装等的理想工具。

紫外灯  

•     固体金属双波汞灯  

•     紫外灯功率：zui大55W。  

•     波长：254nm和185nm  

•     紫外灯使用寿命：2500小时  

•     紫外线照射面积：100×100 mm（4"×4"）  

•     峰值紫外线强度：4.6毫瓦/平方厘米。  

腔室和样品台  

•     外形尺寸：9 1/2"×7 7/8"×6"  

•     抽屉尺寸：5 1/4"×5 1/4"×1"  

•     抽屉到灯的距离：1 1/16“  

•     从基座到灯的距离：5/16“  

•     硼硅酸盐玻璃基座：4"×4"×3/4"  

•     18号钢制底盘和盖板，粉末涂层  

•     总重量：9磅  

合规  

CE认证  

保证  

一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室不保修)  

环境要求  

•    只在室内使用;海拔高度可达5,562英尺;  

•    温度范围41-104华氏度;  

•    zui高相对湿度80％，高达87 华氏度线性降低至50％相对湿度，华氏104度;  

•    主电源波动不超过额定电压的10％;过压类别II;  

•    污染等级2;臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

Application  

•    清洁SPT，AFM**和表面的分子污染  

•    固化UV-粘合剂  

•    SAM表面的紫外光图案化  

•    氧化PDMS  

•    蚀刻，图案，锐化  

•    清洁MEMS器件  

•    清洁衬底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶体衬底