双靶脉冲电源磁控镀膜仪的安装与操作

桌面型双靶直流磁控镀膜仪可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，尤其是实验室SEM样品制备，双靶直流磁控镀膜仪采用旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。