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膜厚控制仪
简要描述:

CY-FDC-S膜厚控制仪适用于电子束镀膜、磁控溅射、电阻热蒸发等各种镀膜厚度控制场合。与蒸发源形成闭环控制,实时控制和显示完整的镀膜数据,包括功率、速率、厚度和所用时间,可镀制复杂的光学和金属多层薄膜,通过触摸屏控制实现各种操作,较传统的按键操作更为直观易懂。仪器编程极为方便,总共可设置8个膜系,每个膜系100层镀膜层,为您多层镀膜带来极大方便。这些功能为您获取镀膜工艺提供良好 基础。 FDC-S膜厚控制仪有以下几个特殊功能:手动控制;人工终止镀膜、晶振失效时按当时功率镀膜、晶振失效时切换晶片继续(多晶片探头)、中断膜系、两个源同时预熔、密码保护等。

  • 产品型号:CY-FDC-S
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:49

详细介绍

品牌CYKY

膜厚控制仪

技术特点:

1. 全触屏操作,简单易用;

2.32个膜系,每膜系50/100层自动镀膜;

3. 12路信号输入/12路开关量输出;

4. 提供全自动、半自动、手动控制模式;

5.可控制2个源,一套工作另一套预溶;

技术参数:

CY-FDC-S控制仪

晶振频率

6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体)

显示方式

5"彩色触屏+数码管显示速率和实厚

操作方式

 触摸屏

   

00μ0000Å-99μ9999Å

厚度显示分辨率

1Å/s

速率显示分辨率

0.1Å/s

镀膜层数

32膜系,每膜系50/100层;

探头数量

A  B

工具因子

0.01-99.99

时间显示   

00:00:00-23:59:59 H:M:S

功率显示

099.9%

预熔功率

 099%

预镀功率

099.9%

预熔时间/预镀时间

099:99  m:s

预熔保温时间

/预镀保温时间

  099:99  m:s

镀膜速率(设定速率)

  0999.9Å/s

材料存储

257+自定义10

 

RS232/RS485

可控蒸发源

2个,可一套工作另一套预溶

输出控制

±10V/5V/2.5V

I/接口

12路信号输入/12路开关量输出

可控坩埚数量

1-16

镀膜显示

速率曲线/数值

镀膜巡回次数

每膜系50/100层自动

机箱尺寸

                      480×280×89mm(2U 19"机箱)


特殊功能:

1、手动、半自动、自动3种镀膜模式,满足多种镀膜机配置;

2、人工停止镀膜:镀膜过程中人工终止镀膜;

3、手动控制:确定初次镀膜工艺要求;

4、中断膜系:自动和半自动镀膜中发现问题或出现故障,能停止镀膜并能自动保存当前状态,待故障**后,可从中断膜系继续镀膜;

5、自动或半自动镀膜时,如晶振失效,可选择按终止镀膜、按当前功率时间镀膜、切换晶片继续(多晶片探头);

6、两个源同时预熔:当前层镀膜开始过程中,可选择同时对第2层进行预熔,以满足对时间要求紧张的场合;

7、密码保护:膜系和膜层参数密码保护功能,保护工艺参数不被非工艺人员修改;

8、镀膜数据记录:自动或半自动镀膜时,系统可记录每层膜的成膜时间、*终厚度速率参数。


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