
产品型号:CY-FDC-S
厂商性质:生产厂家
更新时间:2025-09-07
访 问 量:94详细介绍
| 品牌 | CYKY |
|---|
膜厚控制仪
技术特点:
1. 全触屏操作,简单易用;
2.32个膜系,每膜系50/100层自动镀膜;
3. 12路信号输入/12路开关量输出;
4. 提供全自动、半自动、手动控制模式;
5.可控制2个源,一套工作另一套预溶;
| CY-FDC-S控制仪 | |
| 晶振频率 | 6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体) |
| 显示方式 | 5"彩色触屏+数码管显示速率和实厚 |
| 操作方式 | 触摸屏 |
| 终 厚 | 00μ0000Å-99μ9999Å |
| 厚度显示分辨率 | 1Å/s |
| 速率显示分辨率 | 0.1Å/s |
| 镀膜层数 | 32膜系,每膜系50/100层; |
| 探头数量 | A B |
| 工具因子 | 0.01-99.99 |
| 时间显示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
| 功率显示 | 0~99.9% |
| 预熔功率 | 0~99% |
| 预镀功率 | 0~99.9% |
| 预熔时间/预镀时间 | 0~99:99 m:s |
| 预熔保温时间 /预镀保温时间 | 0~99:99 m:s |
| 镀膜速率(设定速率) | 0~999.9Å/s |
| 材料存储 | 257+自定义10种 |
| 通 讯 | RS232/RS485 |
| 可控蒸发源 | 2个,可一套工作另一套预溶 |
| 输出控制 | ±10V/5V/2.5V |
| I/接口 | 12路信号输入/12路开关量输出 |
| 可控坩埚数量 | 1-16个 |
| 镀膜显示 | 速率曲线/数值 |
| 镀膜巡回次数 | 每膜系50/100层自动 |
| 机箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19"机箱) |
特殊功能:
1、手动、半自动、自动3种镀膜模式,满足多种镀膜机配置;
2、人工停止镀膜:镀膜过程中人工终止镀膜;
3、手动控制:确定初次镀膜工艺要求;
4、中断膜系:自动和半自动镀膜中发现问题或出现故障,能停止镀膜并能自动保存当前状态,待故障**后,可从中断膜系继续镀膜;
5、自动或半自动镀膜时,如晶振失效,可选择按终止镀膜、按当前功率时间镀膜、切换晶片继续(多晶片探头);
6、两个源同时预熔:当前层镀膜开始过程中,可选择同时对第2层进行预熔,以满足对时间要求紧张的场合;
7、密码保护:膜系和膜层参数密码保护功能,保护工艺参数不被非工艺人员修改;
8、镀膜数据记录:自动或半自动镀膜时,系统可记录每层膜的成膜时间、*终厚度速率参数。
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