该滑道管式炉由炉体和轨道支架部分组成，同时可搭配进气系统和真空装置组成CVD系统。管式炉默认为600mm长的单温区设计，可以形成较长的恒温区域，也可定制为双温区或者三温区炉膛，以适应不同的试验需求。

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