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手套箱用小型蒸发镀膜仪
简要描述:

手套箱用小型蒸发镀膜仪可进行真空蒸镀,镀膜电流最大可达100A,本型号的小型蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和部分非金属薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。仪器体积小巧,经过小型化设计,可有效节约实验室空间,专为手套箱内使用设计;操作简单,对不同材料的适应性强,十分适合实验室选购。

  • 产品型号:CY-EVZ180-I-H-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:169

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本产品为手套箱用小型蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,*大蒸发温度可达1700℃,能够满足常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作,具有便于观察镀膜过程,易于清洗的优点;配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空,能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。仪器体积小巧,经过小型化设计,可有效节约实验室空间,专为手套箱内使用设计;操作简单,对不同材料的适应性强,十分适合实验室选购。  

手套箱专用型小型蒸发镀膜仪技术参数:  

 

产品名称

手套箱用小型蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVZ180-I-H-Q

样品台

外形尺寸

直径φ60mm

转速

≦20rpm

至蒸发源间距

20~55mm 连续可调

蒸发源

有机蒸发源(石英舟和钨丝发热源)

蒸发电源

每个蒸发源配一组独立电源

真空腔体

腔体尺寸

直径φ180mm,高度100mm

观察窗口

直径φ60mm

腔体材

高纯石英

开启方式

上开启式

膜厚测量

膜厚测量仪(可选膜厚控制仪)

真空系统

前级泵

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-4Pa

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电

AC220V,50Hz

整机尺寸

600mm×600mm×750mm

整机功率

1200W

整机重量

40kg






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