详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 10万-30万 |
---|---|---|---|
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可最大支持300A的大电流,加热温度最高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的需求。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能,是实验室高精度蒸发镀膜试验的之选。
多源高真空蒸发镀膜仪技术参数:
多源高真空蒸发镀膜仪 | ||
型号 | CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS | |
样品台 | 尺寸 | 最大支持φ150mm样品 |
高度 | 上下70mm可调 | |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 |
真空腔体
| 腔体尺寸 | φ325x600mm |
观察窗口 | 前置φ100mm | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |
真空系统
| 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | CF160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
排气速率 | 机械泵1.1L/s,分子泵600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
控制系统 | PLC自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |
其他
| 供电电压 | AC380V,50Hz |
整机尺寸 | 1000mmX900mmX1500mm | |
整机重量 | 350kg | |
整机功率 | 5kW |
产品咨询