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桌面型双源蒸发镀膜仪
简要描述:

本产品为桌面型双源蒸发镀膜仪,设备安装有两套蒸发源,各蒸发源分别供电,可交替开启也可同时开启;每个蒸发源可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀

  • 产品型号:CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:49

详细介绍

品牌CYKY价格区间1-5万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本产品为桌面型双源蒸发镀膜仪,设备安装有两套蒸发源,各蒸发源分别供电,可交替开启也可同时开启;每个蒸发源可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。真空腔体采用不不锈钢制作,配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空,能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。两组蒸发源对称放置,每个蒸发源均具有单独的挡板,可保证镀膜过程中不被污染。  

双源蒸发镀膜仪技术参数:  


产品名称  

桌面型双源蒸发镀膜仪  

产品型号  

CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS  

样品台  

外形尺寸  

直径φ60mm  

转速  

≦20rpm  

至蒸发源间距  

60~100mm 连续可调  

蒸发源  

配 2 个钨舟、2个钨丝篮  

蒸发电源  

2个,每个蒸发源均配挡板  

真空腔体  

腔体尺寸  

直径φ170mm,高度210mm  

观察窗口  

直径φ60mm  

腔体材  

304不锈钢  

开启方式  

上开启式  

膜厚测量  

膜厚测量仪(可选膜厚控制仪)  

真空系统  

前级泵  

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S  

次级泵  

涡轮分子泵,气体抽速600L/S  

真空测量  

复合真空(电离规+电阻规)  

系统真空  

5×10-4Pa  

控制系统  

CYKY自研专业级控制器  

 

其他参数  

供电电  

AC220V,50Hz  

整机尺寸  

600mm×600mm×750mm  

整机功率  

1200W  

整机重量  

40kg  




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