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产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
| 品牌 | CYKY | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
10L半导体等离子清洗设备除了具有清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，在清洗过程中，小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源，能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配，能够满足用户的多样化需求。
10L半导体等离子清洗设备技术参数：
主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
清洗仓体 | 清洗仓材质 | 高纯石英 |
清洗仓尺寸 | 直径230mm;长度350mm | |
射频电源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 | ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 | |
射频功率 | 0~300W连续可调 | |
信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
射频接头 | N型头 | |
整机效率 | ≥75% | |
谐波分量 | ≤-50 dBc | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
气体测量 | 测量部件 | 浮子流量计 |
气体通道 | 两通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真空获取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
真空抽取 | 双极旋片泵 | |
电机转速 | 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 | |
抽气速率 | 50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。 | |
真空量程 | 1Pa～100000Pa | |
极限真空 | 1Pa | |
电机噪音 | ≤56dB | |
管道接口 | 进气口：KF16;排气口KF16. | |
连接管道 | KF16真空波纹管 | |
真空阀门 | 电磁阀 | |
电机功率 | 400W | |
其它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
整机功率 | 800W | |
使用温度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整机尺寸 | 670mm×670mm×600mm | |
整机重量 | 100kg |
10L等离子清洗机应用领域：
金属：去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层；
汽车制造：用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理；
纺织品生产：用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理；
生物医疗：培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理；
航空航天：绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理；
电子：线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性；
半导体行业：晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理；
LED：支架清洗封装前预处理；
塑料橡胶：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷
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