5L等离子清洗机电容耦合(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。

清洗仓体  

清洗仓材质  

SS304  

清洗仓尺寸  

200x160x240mm  

耦合方式   

电容耦合  

射频电源

电源特性  

该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。  

电源优势  

●可长时间正常运行
● 操作简单灵活  

● 电源效率高、发热少
● 具有完善的反射功率保护功能  

射频功率  

0~300W连续可调  

信号频率  

13.56MHz ±0.005%  

反射功率  

≤100W  

功率稳定度  

±0.1%  

射频接头  

N型头  

整机效率  

≥75%  

谐波分量  

≤-50 dBc  

冷却方式  

强制风冷  

气体测量

测量部件  

两路质量流量计 Ar   0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制  

其他参数参考之前的产品  

气体通道  

两通道  

A通道量程  

10～100ml  

B通道量程  

16～160ml  

真空获取

真空测量  

数字真空计（电阻规）  

真空抽取  

双极旋片泵  

电机转速  

50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。  

抽气速率  

50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。  

真空量程  

0.1Pa～10000Pa  

极限真空  

0.5Pa  

电机噪音  

≤56dB  

管道接口  

进气口：KF16;排气口KF16.  

连接管道  

KF16真空波纹管  

真空阀门  

KF16球阀  

电机功率  

400W  

其它

供电电源  

AC220V 50/60Hz  

整机功率  

800W  

使用温度  

-10℃ -- 40℃  

工作真空  

≤40Pa  

整机尺寸  

600mmX650mmX560mm  

整机重量  

80kg（含包装）