详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
详情介绍:
本产品为桌面型石英腔体小型蒸发镀膜仪,可提供100A的镀膜电流,蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作,具有便于观察镀膜过程,易于清洗的优点;配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空,能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。
在电子领域,桌面型石英腔体蒸发镀膜仪可用于制备各种电子元件和组件的薄膜。例如,可用于制造集成电路中的金属化层、电容器中的电极、电阻器中的薄膜电阻等。这些薄膜具有高精度、高均匀性和良好的电性能,对于提高电子元件的性能和稳定性具有重要作用。
在光学领域,该设备可用于制备光学薄膜。光学薄膜在光学仪器、光学通信、光学存储等领域具有广泛应用。通过蒸发镀膜技术,可以制备出具有高透过率、高反射率或特定光学性质的薄膜,如增透膜、反射膜、滤光膜等。这些薄膜能够改善光学系统的性能,提高光学器件的效率和精度。
产品名称 | 桌面型石英腔体小型蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVZ180-I-H-Q | |
样品台 | 外形尺寸 | 直径φ60mm |
转速 | ≦20rpm | |
至蒸发源间距 | 60~100mm 连续可调 | |
热蒸发源 | 有机蒸发源(石英舟和钨丝发热源) | |
蒸发电源 | 每个蒸发源配一组独立电源 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ180mm,高度200mm |
观察窗口 | 直径φ60mm | |
腔体材质 | 高纯石英 | |
开启方式 | 上开启式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪) | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,气体抽速1.1L/S |
次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
系统真空 | 5×10-4Pa | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整机功率 | 1200W | |
整机重量 | 40kg |
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