本品是一款小型双炉体滑道管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器zui高温度可以达到1200℃。小型双炉体滑道管式炉两个炉体可在滑轨上滑道，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。为取得zui快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端，是低成本快速热处理的理想炉子。

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详细介绍

品牌	CYKY

小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。

该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。

小型双炉体滑道管式炉技术参数：

微型管式炉	产品型号	CY-O1200-50SDM
	炉管材质	高纯石英
	炉管直径	50mm
	炉管长度	1400mm
	加热区长	300mm
	恒温区长	200mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	高亮数码管数字显示
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供气系统	产品型号	CY-3Z
	气体通道	3通道
	测量部件	气体质量流量计
	测量量程	A通道：0～100SCCM H2气	备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
		B通道：0～300SCCM N2气
		C通道：0～500SCCM Ar气
	测量精度	±1.0%F.S
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
排气系统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	4L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16

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