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金属材料热处理:在金属材料的热处理过程中,如淬火、回火等工艺,有些金属(如高速钢、模具钢等)需要在较高温度下处理。水冷法兰可以与石英管或刚玉管配合,构建一个能精确控制温度的热处理环境。例如,在对模具钢进行真空淬火时,水冷法兰确保加热炉与石英管连接的密封性,使模具钢在合适的高温下进行淬火处理,同时通过水冷作用防止法兰过热变形,保证热处理过程的安全性和准确性。
晶体生长实验:在半导体材料(如硅晶体、锗晶体)和光学晶体(如蓝宝石晶体)的生长过程中,需要在高温且稳定的环境下进行。水冷法兰与石英管或刚玉管相连,可用于构建晶体生长炉的关键部件。例如,在采用提拉法生长蓝宝石晶体时,水冷法兰能够维持炉内高温环境,防止热量传导至外部设备,同时保证石英管或刚玉管内的温度、压力和气氛等条件符合晶体生长的要求,有助于生长出高质量的晶体。
CVD 薄膜制备:在化学气相沉积过程中,用于制备各种薄膜材料,如氮化硅薄膜、碳化硅薄膜等。水冷法兰连接石英管或刚玉管作为反应室,能够在高温下(通常 500 - 1200℃)保持良好的密封性,使反应气体在管内稳定流动并发生化学反应。例如,在半导体芯片制造过程中,通过 CVD 在硅片上制备绝缘薄膜,水冷法兰确保了反应装置的可靠性,防止因高温导致的法兰损坏和气体泄漏,从而保证薄膜的质量和均匀性。PVD 镀膜工艺:在物理气相沉积技术(如磁控溅射、蒸发镀膜)中,水冷法兰与石英管或刚玉管配合,为镀膜过程提供稳定的环境。例如,在真空蒸发镀膜中,当金属原子或分子在高温下蒸发并沉积到基底材料上时,水冷法兰可以防止高温影响周围设备,同时保证石英管或刚玉管内的真空度和温度,使镀膜过程顺利进行,广泛应用于光学镜片、电子器件等产品的镀膜,以提高其光学性能和电学性能。
50石英管刚玉管用水冷法兰
法兰材质:304不锈钢
表面处理:精细抛光
气体接口:DIO 8mm宝塔嘴
水冷接口:DIO 8mm宝塔嘴
压力范围:-0.1MPa~1.5MPa
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