蒸发镀膜机是一种通过真空环境加热镀膜材料使其蒸发沉积形成薄膜的核心设备，广泛应用于新能源、半导体、光学及生物医学等领域。其核心原理基于真空条件下的物理蒸发过程：材料在高温下由固态直接转化为气态，蒸汽分子在真空腔体内以直线运动至基板表面，经冷凝后形成均匀致密的薄膜。该技术通过精确控制蒸发速率、基板温度及真空度，可实现纳米级膜厚精度（误差±1nm以内）及多层复合结构制备。
以下是
蒸发镀膜机基于提供的信息整理出的一份操作指南，它涵盖了从准备到实际操作再到维护的基本步骤。
1、准备阶段
检查设备：确保所有控制开关处于关闭状态，并且设备周围没有杂物或人员。
穿戴防护装备：根据伯东电子束蒸发镀膜机的安全操作规程，操作前应穿戴符合标准的防护服、手套和眼镜。
环境检查：确认工作区域通风良好，电源电压稳定，并检查冷却系统是否正常工作。
设备检查：检查各部件是否完好无损，特别是真空泵、加热器和其他关键组件的工作状态。
2、操作流程
启动设备：
打开总电源开关。
启动冷却水循环系统（如果需要）。
打开真空泵，抽取真空室内的空气直至达到工艺要求的真空度。
装载材料与样品：
将待镀膜的基材放入旋转盘或其他固定装置中。
在蒸发源中放置适量的蒸发材料（如铝丝），并确保其安装牢固。
预处理：
根据具体工艺需求，可能需要对基材进行预处理，例如通过紫外光轰击来清洁表面。
开始镀膜：
当真空度达到设定值时，打开蒸发源加热器，使蒸发材料升温至蒸发温度。
控制蒸发速率，确保均匀沉积。
监控镀膜过程中的各项参数，包括真空度、温度和蒸发速率。
完成镀膜：
达到预定厚度后，关闭蒸发源，并保持真空一段时间以排除残留气体。
缓慢恢复大气压，取出已镀膜的样品。
3、维护与清理
定期检查真空泵油位和冷却系统的水位，必要时补充或更换。
清洁真空室内壁及蒸发源周围的任何沉积物，避免影响下次操作。
对于长期使用的设备，按照制造商建议定期进行深度保养和检修。
扫码加微信